全自動超高精度垂直度檢查儀主要特點：
◆ 大理石垂直立柱，真空空氣軸承滑塊。
◆ 基座和導(dǎo)向面經(jīng)過拋光加工，精度高。
◆ KUNZ真空空氣軸承，使滑塊座靠在恒定的垂直導(dǎo)運行。
◆ 滑塊單元是伺服電機 PC控制。
◆ 逆向標(biāo)定方法，修正數(shù)據(jù)自動記錄在補償系統(tǒng)中。
◆ 碳纖維傳感器延長桿，確保可靠的反向校正
◆ 汽浮減震系統(tǒng)集成到大理石基面
◆ 可編程實現(xiàn)動態(tài)測量
◆ 氣浮系統(tǒng)： 底座氣浮系統(tǒng)使SQUARE-Master在大理石平板上輕松平滑移動
◆ 精 度 高： SQUARE-Master是KUNZAG公司在高質(zhì)量要求下生產(chǎn)出的產(chǎn)品，合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計及新型氣浮軸承使SQUARE-Master確保了高精度
◆ 測量導(dǎo)軌： 導(dǎo)軌的真空吸附系統(tǒng)確保了高精度，并使不均衡的重量可平滑移動。空氣管和傳感器電纜都放在電纜槽里
◆ 氣控設(shè)備： 氣源控制及空氣過濾器都放在外置的氣控設(shè)備里。不含氣源
◆ 主 體： 是高精度的長方形大理石精*角尺。由于其均勻的外形，外部環(huán)境對它的影響*小
全自動超高精度垂直度檢查儀技術(shù)參數(shù)：

型    號	500	700	1000
測量范圍 mm	510	710	1010
準(zhǔn)確度   μm	0.5+0.5L
重復(fù)性     μm	0.2